Titel der Ausschreibung

Lieferung einer Einscheiben Läpp- und Poliermaschine für die mechanische Bearbeitung von Mikrosystemen auf Waferlevel (bis 6 Zoll)

CPV-Code / Auftragsgegenstand

43811000-1
Poliermaschinen

Abgabefrist

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Vergabeart / Vergabeordnung

National UVGO

Mandant

Leibniz Universität Hannover

Ort der Ausführung

Welfengarten 1, 30167 Hannover

Art und Umfang der Leistung

Geliefert werden soll eine Einscheiben- Läpp- und Poliermaschine für das Schleifen, Läppen und das chemisch mechanische Polieren von Mikrosystemen auf Waferlevel (2, 4 und 6 Zoll). Die Anlage soll halb automatisch definierte Programmabläufe mit einer Speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) ermöglichen. Gleichzeitig sollen bis zu drei Proben auf der Anlage prozessiert werden können. Alle in Kontakt mit Poliersuspension befindliche Metallteile sind aus Edelstahl auszuführen. Steuerbare Parameter sind die Prozesszeiten, Substrat- und Probendrehzahl, Anpresskraft von Probe auf die Arbeitsscheibe und die Zufuhr von bis zu drei gängigen Läpp- bzw. Poliersuspensionen. Es können ebenfalls generalüberholte Gebrauchtmaschinen angeboten werden. Angeboten werden soll zusätzlich die Lieferung inkl. Montage und Kurzeinweisung in das System.

CPV-Code / Auftragsgegenstand

43811000-1
Poliermaschinen

Abgabefrist

Status

Ausschreibung nicht länger verfügbar

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