Titel der Ausschreibung

IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

CPV-Code / Auftragsgegenstand

42990000
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Abgabefrist

Weitere Informationen

Vergabeart / Vergabeordnung

EU-weit Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Mandant

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Ort der Ausführung

Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

Art und Umfang der Leistung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

CPV-Code / Auftragsgegenstand

42990000
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Abgabefrist

30.06.2026

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