Institut für Mikroelektronik Stuttgart - Vergabe eines Rahmenvertrags für Edelstahl- Installationen

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützi-ge Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwick-lungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist der Abschluss einer Rahmenver-einbarung über Edelstahl-Installationen über 4 Jahre.

Am IMS als Halbleiter-Standort werden Versorgungssysteme und Produktionsanlagen immer wieder erweitert, verändert, zurückgebaut oder ersetzt. Die Versorgungssyste-me umfassen dabei u.a. Gase, anorganische und organische Chemikalien, Reinstwas-seranlagen sowie Abwassersammlungs- und Behandlungssysteme. Alle diese Medien müssen überwiegend im Ultra-Hoch-Reinst Qualität bereitgestellt werden. Viele der Ga-se und Chemikalien sind dabei giftig, ätzend, gesundheitsschädlich oder bei Austritt ge-fährlich.

Bei den im Zuge dieses Verfahrens ausgeschriebenen Arbeiten handelt es sich um In-stallationsarbeiten im Bereich der Versorgung mit hochreinen Spezialgasen sowie bei den Leitungen zwischen Maschinen, Vakuumpumpen und Abgasreinigungssystemen ("Vakuumleitungen"). Bei den dabei verwendeten Komponenten handelt es sich um Rohrleitungen unterschiedlicher Durchmesser und weiteren Bauteilen wie Druckmess-einrichtungen, Druckreglern, Ventilen oder ähnlichem. Die dabei verwendeten Kompo-nenten sind aus hochreinem, in der Regel elektropoliertem Edelstahl. Viele der am IMS eingesetzten Gase sind korrosiv, giftig oder leicht- bzw. selbstentzündlich. Weiterhin handelt es sich bei den Gasen um hochreine Gase mit einer Reinheit von üblicherweise 5.0 oder besser. Aus den Gründen der Sauberkeit und Arbeitssicherheit sind hierfür einschlägige Erfahrungen mit Installationsarbeiten im Bereich Halbleiterproduktion und im Umgang mit Spuren-Kontaminationen zwingend erforderlich. Weiterhin muss entsprechendes hierfür geeignetes Werkzeug und geschultes Personal sein

Der Höchstabruf aus diesem Rahmenvertrag beträgt 1.200.000 Euro netto.