Titel der Ausschreibung

Maskenlose Lithographie

CPV-Code / Auftragsgegenstand

38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Abgabefrist

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Vergabeart / Vergabeordnung

EU-weit Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb

Mandant

Technische Universität München

Ort der Ausführung

Hans-Piloty-Str. 1, 85748 Garching b. München

Art und Umfang der Leistung

Lithographiegerät für maskenlose submikrometer Strukturierung von photoempfindlichen Polymeren

CPV-Code / Auftragsgegenstand

38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Abgabefrist

24.03.2026

Status

Ausschreibung nicht länger verfügbar

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